干式螺杆真空泵/罗茨真空泵/真空泵机组
用途概述
干式螺杆真空泵、罗茨真空泵、螺杆罗茨真空泵机组凭借其创新设计与卓越性能，成为半导体、制药、石化、化工等高要求行业的理想选择。针对复杂真空工艺需求，该系列通过提供清洁无油的真空环境，完美适配腐蚀性气体、可凝性蒸气及含粉尘颗粒气体的抽除场景，助力企业及科研实验实现高效生产与环保目标。其广泛适用于真空钎焊、镀膜、退火、干燥等关键工艺，并在航空航天、电子、冶金、医药等领域推动技术升级，逐步替代传统油封机械泵与液环泵，成为绿色智能制造的核心装备。
产品特点
技术特点
※水冷循环散热技术，可消除风扇高速运转引发的空气扰动扬尘问题；
※工作腔内无润滑油，彻底杜绝油气污染，确保真空环境纯净度，显著提升产品良率；
※工艺气体回收利用率高，尾气处理更便捷，助力企业降低环保成本，符合严苛排放标准；
智能操控
※泵腔及转子表面可选配多种防腐涂层，耐受强酸、强碱等恶劣介质，使用寿命延长；
※多级螺旋转子设计精准适配腐蚀性气体、可凝性蒸气及含微粒粉尘的复杂气体环境；
※间隙密封结构对微小颗粒不敏感，直通式泵腔设计避免粉尘沉积，保障连续稳定运行；
高效节能
※优化转子平衡技术与多层减震结构设计，实现超低振动与低噪运行；
※工作温度低，有效较少冷却水的消耗，契合绿色工厂低碳目标，运行噪声低；
※螺杆啮合传动效率优化，能耗较传统泵有效降低，搭配智能变频配置进一步节能；
罗茨真空
※罗茨真空泵适用于蒸馏蒸发、冷冻干燥等含大量水蒸气的复杂工况；
※当作为前级泵时，可高效抽除水蒸气混合气体，保障生产流程的连续性与稳定性；
※工作压力范围宽，可从大气压平滑过渡至高真空状态，灵活适配多行业多阶段工艺需求
可选配置
①氮气吹扫：针对少量粉尘环境优化，通过特殊密封结构及氮气吹扫装置，可耐受生产过程中产生的细微颗粒（如硅粉、石墨粉尘），避免堵塞或磨损，显著延长设备寿命，减少维护频率，降低停机损失，为生产研发的连续性提供坚实保障。
②PLC控制：可实时监测真空度、压力及生产负载变化，动态调节泵组转速与功率输出。
设备启动迅速，可按需供能，既能避免过度抽气造成的能源浪费，又能为高敏感工艺营造稳定真空环境，如在单晶硅拉制过程中，持续提供恒定低压条件，确保晶体生长品质。
③噪音控制：若工艺环境对噪音敏感（如实验室、精密车间等），可加装消音器；
④钣金外壳：提供防护（防尘、防溅）、提升设备整体美观度及结构强度；
一、介质特性：明确抽取介质的具体类型（如气体、液体混合物等），是否包含以下特殊成分，喆图技术部
据此可确定泵体涂层方案（如耐腐蚀涂层、耐磨涂层等），并判断是否需额外配置过滤器（针对粉尘/颗粒物）
蒸汽（需确认蒸汽类型及含量）
粉尘（需确认粒径范围及浓度）
腐蚀性介质（需说明具体腐蚀性物质及浓度，如酸/碱/有机溶剂等）
二、性能参数：被抽容器的有效容积（需明确具体数值），目标真空度（需注明是极限真空还是工作真空范围）达到目标真空度所需的时间要求（单位：分钟/小时，如“30分钟内抽至10Pa”）。
三、安装空间：安装位置的实际可用空间尺寸（宽*深*高）以及现场安装环境（通风条件、周边设备间距等）
DS、DVS：干式螺杆真空泵
RZ、RZP：罗茨真空泵
JRZ：干式螺杆罗茨真空泵机组
SJ：适合中小工艺直接抽真空的应用，包括锂电新能源、化工制药、钢铁治炼等。
SJR：采用罗茨泵+干式螺杆真空泵的多段抽空机组，可选2段、3段式真空泵，粉尘和液体处理能力强，适用于常规抽空、拉晶、鋰电新能源及部分ALD等应用。
SJRE：采用罗茨泵+增强型干式螺杆真空泵机组，处理粉尘能力更强，且热稳定性高，适合CVD、ALD等工艺。
RM：采用罗茨泵+多级罗茨干泵的机组，能耗小、过程温度可控、噪音低，适合实验室，镀膜、半导体等应用
SBJ：采用变径变距的干式螺杆真空泵的单泵机组，更加节能、低噪和低排气温度，适用于锂电新能源、化工、制药、光伏、半导体等应用。
SBJR：采用罗茨泵+变径变距的干式螺杆真空泵的多段抽空机组，可选2段式、3段式机组，更加节能、低噪和低排气温度，适用于电新能源、化工、制药、光伏、半导体等应用。
技术参数
|
产品名称 |
干式等径等距螺杆真空泵 |
|
型号 |
极限压力 |
抽气速率 |
进气口径 |
排气口径 |
冷却方式 |
功率 |
质量 |
|
DS-6 |
5Pa |
20m³/h |
≈ 6L/s |
KF25 |
KF25 |
风冷 |
1100W |
55kg |
|
DS-14 |
5Pa |
50m³/h |
≈ 14L/s |
KF40 |
KF25 |
风冷 |
1500W |
90kg |
|
DS-22 |
5Pa |
80m³/h |
≈ 22L/s |
KF40 |
KF40 |
风冷 |
2200W |
110kg |
|
DS-50 |
2Pa |
180m³/h |
≈ 50L/s |
40mm |
40mm |
2.5L/min |
7500W |
295kg |
|
DS-69 |
2Pa |
250m³/h |
≈ 69L/s |
80mm |
80mm |
2.6L/min |
7500W |
350kg |
|
DS-111 |
2Pa |
400m³/h |
≈ 111L/s |
100mm |
100mm |
2.8L/min |
15000W |
480kg |
|
DS-150 |
2Pa |
540m³/h |
≈ 150L/s |
150mm |
150mm |
3L/min |
18500W |
520kg |
|
DS-200 |
2Pa |
720m³/h |
≈ 200L/s |
200mm |
200mm |
4L/min |
22000W |
680kg |
|
DS-300 |
2Pa |
1080m³/h |
≈ 300L/s |
250mm |
200mm |
5.5L/min |
30000W |
950kg |
|
产品名称 |
干式等径变距螺杆真空泵 |
|
型号 |
极限压力 |
抽气速率 |
进气口径 |
排气口径 |
冷却方式 |
功率 |
质量 |
|
DVS-69 |
2Pa |
250m³/h |
≈ 69L/s |
65mm |
40mm |
2.5L/min |
7500W |
295kg |
|
DVS-111 |
2Pa |
400m³/h |
≈ 111L/s |
80mm |
40mm |
2.6L/min |
7500W |
350kg |
|
DVS-160 |
2Pa |
576m³/h |
≈ 160L/s |
100mm |
65mm |
2.8L/min |
15000W |
480kg |
|
DVS-220 |
2Pa |
792m³/h |
≈ 220L/s |
150mm |
65mm |
3L/min |
18500W |
520kg |
|
DVS-330 |
2Pa |
1188m³/h |
≈ 330L/s |
150mm |
65mm |
4L/min |
30000W |
680kg |
|
DVS-450 |
2Pa |
1620m³/h |
≈450L/s |
200mm |
80mm |
6L/min |
45000W |
950kg |
|
DVS-280 |
100Pa |
1008m³/h |
≈ 280L/s |
150mm |
65mm |
3.2L/min |
22000W |
520kg |
|
DVS-300 |
100Pa |
1080m³/h |
≈ 300L/s |
150mm |
65mm |
4L/min |
22000W |
520kg |
|
DVS-400 |
100Pa |
1440m³/h |
≈400L/s |
150mm |
65mm |
5L/min |
37000W |
680kg |
|
产品名称 |
罗茨真空泵 |
|
型号 |
极限压力 |
抽气速率 |
进气口径 |
排气口径 |
溢流阀 |
功率 |
质量 |
|
RZ-150 |
0.75Pa |
5 .6×10-³Pa |
150L/s |
100mm |
100mm |
无 |
2200W |
180kg |
|
RZ-300 |
0.75Pa |
5 .6×10-³Pa |
300L/s |
150mm |
150mm |
无 |
4000W |
250kg |
|
RZ-600 |
0.75Pa |
5 .6×10-³Pa |
600L/s |
200mm |
200mm |
无 |
7500W |
550kg |
|
RZ-1200 |
0.75Pa |
5 .6×10-³Pa |
1200L/s |
250mm |
200mm |
无 |
11000W |
730kg |
|
RZ-5000 |
0.8Pa |
5 .6×10-³Pa |
5000L/s |
400mm |
400mm |
无 |
30000W |
1800kg |
|
RZP-70 |
0.75Pa |
5 .6×10-³Pa |
70L/s |
80mm |
80mm |
有 |
1100W |
110kg |
|
RZP-150 |
0.75Pa |
5 .6×10-³Pa |
150L/s |
100mm |
100mm |
有 |
2200W |
190kg |
|
RZP-300 |
0.75Pa |
5 .6×10-³Pa |
300L/s |
150mm |
150mm |
有 |
4000W |
265kg |
|
RZP-600 |
0.75Pa |
5 .6×10-³Pa |
600L/s |
200mm |
200mm |
有 |
7500W |
570kg |
|
RZP-1200 |
0.75Pa |
5 .6×10-³Pa |
1200L/s |
250mm |
200mm |
有 |
11000W |
770kg |
|
RZP-2500 |
0.75Pa |
5 .6×10-³Pa |
2500L/s |
320mm |
320mm |
有 |
18500W |
1350kg |
|
产品名称 |
干式螺杆罗茨真空泵机组 |
|
型号 |
JRZ-150-S3 |
JRZ-150-S2 |
JRZ-300-S3 |
JRZ-300-S2 |
JRZ-600-S4 |
JRZ-600-S3 |
JRZ-1200-VS4 |
|
前级螺杆泵 |
DS50 |
DS70 |
DS110 |
DS150 |
DS150 |
DS200 |
DVS300 |
|
罗茨主泵 |
RZ150 |
RZ150 |
RZ300 |
RZ300 |
RZ600 |
RZ600 |
RZ1200 |
|
抽气速率 |
150L/s |
150L/s |
300L/s |
300L/s |
600L/s |
600L/s |
1200L/s |
|
抽速比 |
3 |
2 .14 |
2 .73 |
2 |
4 |
3 |
4 |
|
极限压力 |
0 . 5Pa |
0 .1Pa |
0 .1Pa |
0 .1Pa |
0 .1Pa |
0 .1Pa |
0 .2Pa |
|
主泵功率 |
3000W |
3000W |
3500W |
3500W |
4500W |
4500W |
11000W |
|
前级泵功率 |
7500W |
7500W |
4500W |
4500W |
4500W |
7500W |
7500W |
|
进气口径 |
100mm |
100mm |
150mm |
150mm |
145mm |
145mm |
250mm |
|
排气口径 |
40mm |
40mm |
50mm |
50mm |
40mm |
40mm |
40mm |
|
冷却水量 |
4L/min |
4L/min |
5L/min |
5L/min |
6L/min |
7L/min |
9L/min |
|
重量 |
600kg |
600kg |
650kg |
650kg |
650kg |
700kg |
1250kg |
|
名称 |
干式等径变距螺杆真空泵 |
|
型号 |
抽速 |
极限压力 |
进气口 |
排气口 |
电压 |
功率 |
N2吹扫 |
冷源 |
|
SJ-80 |
80m³/h |
22L/s |
≤1Pa(≤1*10-²mbar/≤7.5*10-³Torr） |
NW50 |
NW40 |
220V或380V |
3kW |
标配 |
选配 |
|
SJ-180 |
180m³/h |
50L/s |
NW50 |
NW40 |
4.5kW |
标配 |
选配 |
|
SJ-200 |
200m³/h |
56L/s |
ISO63 |
NW40 |
6kW |
标配 |
选配 |
|
SJ-300 |
300m³/h |
83L/s |
ISO63 |
NW40 |
6kW |
标配 |
选配 |
|
SJ-380 |
380m³/h |
106L/s |
ISO63 |
NW40 |
7.5kW |
标配 |
选配 |
|
SJ-450 |
450m³/h |
125L/s |
ISO63 |
ISO63 |
11kW |
标配 |
选配 |
|
SJ-580 |
580m³/h |
161 L/s |
ISO100 |
ISO63 |
11kW |
标配 |
选配 |
|
SJ-680 |
680m³/h |
189L/s |
ISO100 |
ISO63 |
15kW |
标配 |
选配 |
|
SJ-950 |
950m³/h |
264L/s |
ISO100 |
ISO80 |
22kW |
标配 |
选配 |
|
SJ-1200 |
1200m³/h |
333L/s |
ISO160 |
ISO80 |
22kW |
标配 |
选配 |
|
SJ-1500 |
1500m³/h |
417L/s |
ISO160 |
ISO80 |
37kW |
标配 |
选配 |
|
SJ-2500 |
2500m³/h |
694L/s |
ISO160 |
ISO100 |
55kW |
标配 |
选配 |
|
名称 |
干式等径变距螺杆真空泵机组 |
|
型号 |
抽速 |
极限压力 |
进气口 |
排气口 |
电压 |
功率 |
N2吹扫 |
冷源 |
|
SJR-600 |
600m³/h |
167L/s |
≤1Pa(≤1*10-³mbar/≤7.5*10-⁴Torr） |
ISO160 |
NW40 |
220V或380V |
4.5/2kW |
标配 |
选配 |
|
SJR-1200 |
1200m³/h |
333L/s |
ISO160 |
NW40 |
4.5/4.5kW |
标配 |
选配 |
|
SJR-1500 |
1500m³/h |
417L/s |
ISO160 |
NW40 |
4.5/4.5kW |
标配 |
选配 |
|
SJR-2100 |
2100m³/h |
583L/s |
ISO160 |
NW40 |
6/4.5kW |
标配 |
选配 |
|
SJR-4200 |
4200m³/h |
1167L/s |
ISO200 |
NW40 |
6/6kW |
标配 |
选配 |
|
SJR-4500 |
4500m³/h |
1250L/s |
ISO250 |
ISO63 |
11/7.5kW |
标配 |
选配 |
|
SJR-5400 |
5400m³/h |
1 500L/s |
ISO250 |
ISO63 |
15/7.5kW |
标配 |
选配 |
|
SJR-6300 |
6300m³/h |
1750L/s |
ISO250 |
ISO63 |
15/11 kW |
标配 |
选配 |
|
SJR-7200 |
7200m³/h |
2000L/s |
ISO250 |
ISO80 |
22/15kW |
标配 |
选配 |
|
名称 |
干式增强螺杆真空泵机组 |
|
型号 |
抽速 |
极限压力 |
进气口 |
排气口 |
电压 |
功率 |
N2吹扫 |
冷源 |
|
SJRE-600 |
600m³/h |
167L/s |
≤1Pa(≤1*10-³mbar/≤7.5*10-⁴Torr） |
ISO100 |
NW40 |
220V或380V |
4.5/2kW |
标配 |
选配 |
|
SJRE-1200 |
1200m³/h |
333L/s |
ISO160 |
NW40 |
4.5/4.5kW |
标配 |
选配 |
|
SJRE-1800 |
1800m³/h |
500L/s |
ISO160 |
NW40 |
4.5/4.5kW |
标配 |
选配 |
|
SJRE-3000 |
3000m³/h |
833L/s |
ISO200 |
NW40 |
11 /6kW |
标配 |
选配 |
|
SJRE-4500 |
4500m³/h |
1250L/s |
ISO250 |
NW40 |
11 /7.5kW |
标配 |
选配 |
|
SJRE-5400 |
5400m³/h |
1500L/s |
ISO250 |
NW40 |
11/11kW |
标配 |
选配 |
|
名称 |
干式多级罗茨真空泵机组 |
|
型号 |
抽速 |
极限压力 |
进气口 |
排气口 |
电压 |
功率 |
N2吹扫 |
冷源 |
|
RM-600 |
600m³/h |
167L/s |
≤1Pa(≤1*10-³mbar/≤7.5*10-⁴Torr） |
ISO160 |
NW40 |
220V或380V |
4.5/2kW |
标配 |
选配 |
|
RM-1200 |
1200m³/h |
333L/s |
ISO160 |
NW40 |
4.5/4.5kW |
标配 |
选配 |
|
RM-1800 |
1800m³/h |
500L/s |
ISO160 |
NW40 |
4.5/4.5kW |
标配 |
选配 |
|
RM-3000 |
3000m³/h |
833L/s |
ISO250 |
NW40 |
11 /6kW |
标配 |
选配 |
|
RM-4500 |
4500m³/h |
1250L/s |
ISO250 |
NW40 |
11 /7.5kW |
标配 |
选配 |
|
RM-5400 |
5400m³/h |
1 500L/s |
ISO250 |
NW40 |
11/11kW |
标配 |
选配 |
|
名称 |
干式变径变距真空泵机组 |
|
型号 |
抽速 |
极限压力 |
进气口 |
排气口 |
电压 |
功率 |
N2吹扫 |
冷源 |
|
SBJ-160 |
160m³/h |
44L/s |
≤0.1Pa(≤1*10-³mbar/≤7.5*10-⁴Torr） |
ISO63 |
NW40 |
220V或380V |
4.5kW |
标配 |
选配 |
|
SBJ-300 |
300m³/h |
83L/s |
ISO63 |
NW40 |
6kW |
标配 |
选配 |
|
SBJ-500 |
500m³/h |
139L/s |
ISO100 |
NW50 |
11kW |
标配 |
选配 |
|
SBJ-800 |
800m³/h |
222L/s |
ISO100 |
NW50 |
22kW |
标配 |
选配 |
|
名称 |
干式变径变距螺杆真空泵机组 |
|
型号 |
抽速 |
极限压力 |
进气口 |
排气口 |
电压 |
功率 |
N2吹扫 |
冷源 |
|
SBJR-1200 |
1200m³/h |
333L/s |
≤0.1Pa(≤1*10-²mbar/≤7.5*10-³Torr） |
ISO160 |
NW40 |
220V或380V |
4.5/4.5kW |
标配 |
选配 |
|
SBJR-2100 |
2100m³/h |
583L/s |
ISO160 |
NW40 |
6/4.5kW |
标配 |
选配 |
|
SBJR-3000 |
3000m³/h |
833L/s |
ISO200 |
NW40 |
6/6kW |
标配 |
选配 |
|
SBJR-4200 |
4200m³/h |
1167L/s |
ISO250 |
NW40 |
6/7.5kW |
标配 |
选配 |
|
SBJR-5400 |
5400m³/h |
1500L/s |
ISO250 |
NW50 |
15/7.5kW |
标配 |
选配 |
|
SBJR-7200 |
7200m³/h |
2000L/s |
ISO250 |
NW50 |
22/115kW |
标配 |
选配 |
|
名称 |
超高真空复合分子泵 |
|
型号 |
抽速 |
极限压力 |
进气口 |
排气口 |
电源电压 |
功率 |
N2吹扫 |
冷源 |
|
UHV-7200 |
7200m³/h |
2000L/s |
5*10-⁷Pa前级2Torr |
ISO250 |
NW40 |
220V50Hz |
1kW |
标配 |
标配 |
|
UHV-16200 |
16200m³/h |
4500L/s |
ISO400 |
NW40 |
1kW |
标配 |
标配 |
|
名称 |
磁悬浮复合分子泵 |
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型号 |
抽速 |
极限压力 |
进气口 |
排气口 |
电源电压 |
功率 |
N2吹扫 |
冷源 |
|
MFP-4320 |
4320m³/h |
2000L/s |
5*10-⁸Pa前级2Torr |
ISO200 |
NW40 |
220V50Hz |
0.75kW |
标配 |
标配 |
|
MFP-9720 |
9720m³/h |
2700L/s |
1*10-⁷Pa前级2Torr |
ISO250 |
NW40 |
220V50Hz |
1.8kW |
标配 |
标配 |
|
MFP-11880 |
11880m³/h |
3300L/s |
1*10-⁷Pa前级2Torr |
ISO320 |
NW40 |
220V50Hz |
1.8kW |
标配 |
标配 |
|
MFP-16200 |
16200m³/h |
4500L/s |
1*10-⁷Pa前级2Torr |
ISO400 |
NW40 |
220V50Hz |
1.8kW |
标配 |
标配 |
