百级洁净干燥箱
用途概述
百级洁净干燥箱又称无尘烘箱，适用于无尘车间的各种工件的热处理以及电子产品的老化等作用，以保证工件的精度和洁净度。如电子液晶显示、LCD，CMOS，IS、医药、实验室等生产及科研部门，也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。半导体制造中硅片、铌酸锂、砷化锦、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤等。
产品特点
※采用智能温控系统，具有自动恒温，升降温、温度定时等控制功能，控制精确可靠；
※具有锁屏密码，可选配三级权限和审计追踪功能，可回放或导出实验数据及运行和操作者信息；
※彩色触摸屏，PID自整定，支持参数设置、程序升温、远程监控、报警记录查询及USB数据导出可选配RS-485接口，接入实验室MES系统。
※内胆采用316不锈钢，全周氩焊，外壳表面静电镀膜喷涂，经典耐用，温场均匀可靠；
※采用多层隔热及螺旋风道设计，内置风机形成正压循环，实时排出颗粒物，避免停机后洁净度衰减；
※内置高效过滤器（H14），过滤效率达99.995%，实时监测并维持百级洁净度，避免传统干燥箱“静态洁净”导致的二次污染。
※过温断电、压力平衡设计，符合GMP、ISO14644及半导体行业SEMI标准；
※具有缺相检测、自诊断、漏电、风机过热、短路、过载、缺相保护等安全装置；
※具有断偶及超温自动停止加热并报警，来电恢复、自诊断、突发情况参数自动保存等功能；
※设备运行过程中突然出现故障，仪表屏幕会有明显标识及代码，便于快速排除故障解决问题。
应用领域
※科研机构：高校实验室、材料研究所（如中科院、清华大学）；
※食品化工：高纯度试剂、纳米材料干燥（如新和成、万华化学）；
※生物制药：疫苗研发、无菌原料药干燥（如药明康德、恒瑞医药）；
※半导体/光电：晶圆切割片、光学镜片低氧干燥（如中芯国际、京仪集团）。
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ISO等级(14644-1) |
Class等级(FS209E) |
大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3) |
应用场景 |
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0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
1μm |
5μm |
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ISO1 |
- |
10 |
2 |
- |
- |
- |
- |
芯片制造、制药 |
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ISO 2 |
- |
100 |
24 |
10 |
4 |
- |
- |
芯片制造、制药 |
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ISO3 |
- |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
- |
芯片制造、制药 |
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ISO4(十级) |
Class 10 |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
- |
电子芯片、精密光学 |
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ISO5(百级) |
Class 100 |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
生物制药、洁净手术室 |
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ISO6(千级) |
Class 1000 |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
食品饮料、普通电子 |
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ISO7(万级) |
Class 10000 |
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352000 |
83200 |
2930 |
仓储、一般工业 |
技术参数
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型号 |
TBJ-72 |
TBJ-180 |
TBJ-270 |
TBJ-480 |
TBJ-980 |
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温度控制器 |
彩色触摸屏 |
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洁净等级 |
Class100(IOS 5) |
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过滤器 |
耐高温高效空气过滤器 |
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温度范围 |
RT+50～250℃ |
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温度均匀度 |
±2.5% |
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温度波动度 |
±1℃ |
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循环方式 |
强制对流 |
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电源电压 |
AC220V/50Hz |
AC380V/50Hz |
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额定功率 |
2500W |
3500W |
5500W |
9000W |
15000W |
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工作室尺寸 W*D*H(mm) |
400x400x450 |
600x500x600 |
600x500x900 |
800x600x1000 |
1400x700x1000 |
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容积 |
72L |
180L |
270L |
480L |
980L |
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载物托架 |
2 |
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搁板承重 |
<30KG(可定制承重≥30kg) |
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定时范围 |
1～9999min |
