洁净干燥箱，又称无尘烘箱，适用于无尘车间的各种工件热处理以及电子产品老化等作业，保障工件精度与洁净度。适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产科研部门；也可用于非挥发性、非易燃易爆物品干燥、热处理、老化等高温试验。可用于半导体制造中硅片、铌酸锂、砷化铟、玻璃等材料涂胶前预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后高温烘烤。
| 型号 | TBJ-180 | TBJ-270 | TBJ-480 | TBJ-980 |
|---|---|---|---|---|
| 温度控制器 | 彩色触摸屏 | |||
| 洁净等级 | Class100 (IOS 5) | |||
| 过滤器 | 耐高温高效空气过滤器 | |||
| 温度范围 | RT+50 ~ 250℃ | |||
| 温度均匀度 | ≤±2.5℃ (@100℃) | |||
| 温度波动度 | ±1℃ | |||
| 循环方式 | 强制对流 | |||
| 电源电压 | AC220V/50Hz | AC380V/50Hz | ||
| 额定功率 | 3500W | 5500W | 9000W | 15000W |
| 内胆尺寸W*D*H(mm) | 600*500*600 | 600*500*900 | 800*600*1000 | 1000*1000*1000 |
| 外形尺寸W*D*H(mm) | 965*1240*1510 | 965*1240*1810 | 1200*1340*1910 | 1400*1745*1910 |
| 容积 | 180L | 270L | 480L | 980L |
| 载物托架 | 2 | |||
| 搁板承重 | <15KG（可定制承重≥15kg） | |||
| 定时范围 | 1 ~ 9999min | |||
