百级无尘恒净干燥箱
用途概述
百级无尘恒净干燥箱又称洁净干燥箱、无尘烘箱,适用于无尘车间的各种工件的热处理以及电子产品的老化等作用,以保证工件的精度和洁净度。如电子液晶显示、LCD,CMOS,IS、医药、实验室等生产及科研部门,也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。半导体制造中硅片、铌酸锂、砷化锦、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤等。
产品特点
※采用智能温控系统,具有自动恒温,升降温、温度定时等控制功能,控制精确可靠;
※具有锁屏密码,可选配三级权限和审计追踪功能,可回放或导出实验数据及运行和操作者信息;
※彩色触摸屏,PID自整定,支持参数设置、程序升温、远程监控、报警记录查询及USB数据导出可选配RS-485接口,接入实验室MES系统。
※内胆采用316不锈钢,全周氩焊,外壳表面静电镀膜喷涂,经典耐用,温场均匀可靠;
※采用多层隔热及螺旋风道设计,内置风机形成正压循环,实时排出颗粒物,避免停机后洁净度衰减;
※内置高效过滤器(H14),过滤效率达99.995%,实时监测并维持百级洁净度,避免传统干燥箱“静态洁净”导致的二次污染。
※过温断电、压力平衡设计,符合GMP、ISO14644及半导体行业SEMI标准;
※具有缺相检测、自诊断、漏电、风机过热、短路、过载、缺相保护等安全装置;
※具有断偶及超温自动停止加热并报警,来电恢复、自诊断、突发情况参数自动保存等功能;
※设备运行过程中突然出现故障,仪表屏幕会有明显标识及代码,便于快速排除故障解决问题。
应用领域
※科研机构:高校实验室、材料研究所(如中科院、清华大学);
※食品化工:高纯度试剂、纳米材料干燥(如新和成、万华化学);
※生物制药:疫苗研发、无菌原料药干燥(如药明康德、恒瑞医药);
※半导体/光电:晶圆切割片、光学镜片低氧干燥(如中芯国际、京仪集团)。
项目 |
中国GMP/欧洲GMP |
USP |
ISO |
习惯分级 |
悬浮粒子个/m3 |
级别 |
静态 |
动态 |
级别 |
动态 |
级别 |
动态 |
≥0.5um |
≥5um |
≥0.5um |
≥5um |
≥0.5um |
≥5um |
≥0.5um |
≥5um |
A |
3520 |
20 |
3520 |
20 |
M3.5 |
3530 |
100 |
4.8 |
2220 |
20 |
100 |
B |
3520 |
29 |
352000 |
2900 |
- |
- |
- |
5.0 |
3520 |
29 |
1000 |
C |
352000 |
2900 |
3520000 |
2900 |
M5.5 |
353000 |
10000 |
7.0 |
352000 |
2930 |
10000 |
8.0 |
3520000 |
29300 |
100000 |
D |
3520000 |
29000 |
不做规定 |
不做规定 |
M6.5 |
3530000 |
100000 |
8.0 |
3520000 |
29300 |
100000 |
中国与欧盟的GMP将洁净区按A,B,C,D进行分类,USP与ISO以数字分级。A级以ISO 5.0的标准控制≥0.5um的粒子,以ISO 4.8的标准控制≥5um的粒子。
型号 |
TBJ-180 |
TBJ-270 |
TBJ-480 |
TBJ-980 |
温度控制器 |
彩色触摸屏 |
洁净等级 |
Class100 |
过滤器 |
耐高温高效空气过滤器 |
温度范围 |
RT+50~250℃ |
温度均匀度 |
±2.5%℃ |
温度波动度 |
≤±1℃ |
工作室含尘度 |
0.5μm≤含尘度≤3.5μm |
循环方式 |
强制对流 |
电源电压 |
AC220V 50Hz |
AC380V 50Hz |
额定功率 |
3500W |
5500W |
9000W |
15000W |
工作室尺寸mm |
600*500*600 |
600*500*900 |
800*600*1000 |
1400*700*1000 |
容积 |
180L |
270L |
480L |
980L |
载物托架 |
2 |
搁板承重 |
<30KG(可定制承重≥30kg) |
定时范围 |
1~9999min |