磁悬浮复合分子泵

干式螺杆真空泵/罗茨真空泵/分子泵
用途概述
干式螺杆真空泵、罗茨真空泵、分子泵凭借其创新设计与卓越性能，成为半导体、制药、石化、化工等高要求行业的理想选择。针对复杂真空工艺需求，该系列通过提供清洁无油的真空环境，完美适配腐蚀性气体、可凝性蒸气及含粉尘颗粒气体的抽除场景，助力企业及科研实验实现高效生产与环保目标。其广泛适用于真空钎焊、镀膜、退火、干燥等关键工艺，并在航空航天、电子、冶金、医药等领域推动技术升级，逐步替代传统油封机械泵与液环泵，成为绿色智能制造的核心装备，支持单机或多泵组合（如螺杆罗茨泵联动）构建干式真空泵机组。
产品特点
技术特点
※水冷循环散热技术，可消除风扇高速运转引发的空气扰动扬尘问题；
※工作腔内无润滑油，彻底杜绝油气污染，确保真空环境纯净度，显著提升产品良率；
※工艺气体回收利用率高，尾气处理更便捷，助力企业降低环保成本，符合严苛排放标准；
智能操控
※泵腔及转子表面可选配多种防腐涂层，耐受强酸、强碱等恶劣介质，使用寿命延长；
※多级螺旋转子设计精准适配腐蚀性气体、可凝性蒸气及含微粒粉尘的复杂气体环境；
※间隙密封结构对微小颗粒不敏感，直通式泵腔设计避免粉尘沉积，保障连续稳定运行；
高效节能
※优化转子平衡技术与多层减震结构设计，实现超低振动与低噪运行；
※工作温度低，有效较少冷却水的消耗，契合绿色工厂低碳目标，运行噪声低；
※螺杆啮合传动效率优化，能耗较传统泵有效降低，搭配智能变频配置进一步节能；
罗茨真空
※罗茨真空泵适用于蒸馏蒸发、冷冻干燥等含大量水蒸气的复杂工况；
※当作为前级泵时，可高效抽除水蒸气混合气体，保障生产流程的连续性与稳定性；
※工作压力范围宽，可从大气压平滑过渡至高真空状态，灵活适配多行业多阶段工艺需求
可选配置
①氮气吹扫：针对少量粉尘环境优化，通过特殊密封结构及氮气吹扫装置，可耐受生产过程中产生的细微颗粒（如硅粉、石墨粉尘），避免堵塞或磨损，显著延长设备寿命，减少维护频率，降低停机损失，为生产研发的连续性提供坚实保障。
②PLC控制：可实时监测真空度、压力及生产负载变化，动态调节泵组转速与功率输出。
设备启动迅速，可按需供能，既能避免过度抽气造成的能源浪费，又能为高敏感工艺营造稳定真空环境，如在单晶硅拉制过程中，持续提供恒定低压条件，确保晶体生长品质。
③噪音控制：若工艺环境对噪音敏感（如实验室、精密车间等），可加装消音器；
④钣金外壳：提供防护（防尘、防溅）、提升设备整体美观度及结构强度；
技术参数

名称	干式螺杆真空泵
型号	GLJ-S8	GLJ-S20	GLJ-S30	GLJ-S40	GLJ-S60	GLJ-S80
抽速	8m³/h	20m³/h	30m³/h	40m³/h	60m³/h	80m³/h
转子结构	等径变螺距	等径变螺距	等径变螺距	等径变螺距	等径变螺距	等径变螺距
冷却方式	风冷	风冷	风冷	风冷	风冷	风冷
防腐涂层	特氟龙涂层（可选哈氏合金涂层）				特氟龙涂层（可选哈氏合金涂层）
极限压力	≤1Pa				≤3pa
	≤1*10⁻²mbar				≤3*10⁻²Pa
	≤7.5*10⁻³Torr				≤2.25*10⁻²Torr
进气口	KF25		KF40		KF40
排气口	KF16		KF25		KF40
电源电压	380V 50Hz（可选220V 50Hz）				380V 50Hz（可选220V 50Hz）
功率	1100W	1100W	1100W	1500W	1500W	2200W
吹扫装置	标配	标配	标配	标配	标配	标配
吹扫装置压力	1.5 ～2bar	1.5 ～2bar	1.5 ～2bar	1.5 ～2bar	1.5 ～2bar	1.5 ～2bar
吹扫装置接口	6mm快插口	6mm快插口	6mm快插口	6mm快插口	6mm快插口	6mm快插口

 

产品名称	罗茨真空泵
型号	极限压力		抽气速率	进气口径	排气口径	溢流阀	功率	质量
RZ-150	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	150L/s	100mm	100mm	无	2200W	180kg
RZ-300	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	300L/s	150mm	150mm	无	4000W	250kg
RZ-600	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	600L/s	200mm	200mm	无	7500W	550kg
RZ-1200	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	1200L/s	250mm	200mm	无	11000W	730kg
RZ-5000	0.8Pa	5 .6×10-³Pa	5000L/s	400mm	400mm	无	30000W	1800kg
RZP-70	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	70L/s	80mm	80mm	有	1100W	110kg
RZP-150	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	150L/s	100mm	100mm	有	2200W	190kg
RZP-300	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	300L/s	150mm	150mm	有	4000W	265kg
RZP-600	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	600L/s	200mm	200mm	有	7500W	570kg
RZP-1200	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	1200L/s	250mm	200mm	有	11000W	770kg
RZP-2500	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	2500L/s	320mm	320mm	有	18500W	1350kg

 

名称	磁悬浮复合分子泵				超高真空复合分子泵
型号	MFX-1200	MFX-2700	MFX-3300	MFX-4500	MUX-7200	MUX-16200
抽速N2	1200L/s	2700L/s	3300L/s	4500L/s	2000L/s	4500L/s
压缩比N2	＞ 1*10⁹	＞ 1*10⁸	＞ 1*10⁸	＞ 1*10⁸	1*10 ⁸
压缩比H2	＞ 1*10³	＞ 1*10 ³	＞ 1*10 ³	＞ 1*10 ³	4*103
极限压力	5*10⁻⁸Pa	1*10 ⁻ ⁷Pa	1*10⁻⁷ Pa	1*10⁻⁷ Pa	5*10⁻⁷ Pa
最大出口(前级)压力	1.5Torr	2Torr	2Torr	2Torr	2Torr	2Torr
转速	36000rpm	27000rpm	27000rpm	24000rpm	24000rpm	21000rpm
进气口	ISO200	ISO250	ISO320	ISO400	ISO250	ISO400
排气口	NW40				NW40
启动时间	＜ 12min				＜ 10min
停止时间	＜ 16min				＜ 15min
电源电压	380V 50Hz（可选220V 50Hz）				380V 50Hz（可选220V 50Hz）
功率	750W	1800W	1800W	1800W	1000W	1000W
冷却水接口尺寸	ISO-Rc1 /4				ISO-Rc1 /4
冷却水流量	3L/min				3L/min
冷却水水温	16～25°C				16～25°C
吹扫装置管径	NW16	NW10	NW10	NW10	NW10	NW10
吹扫装置流量	30±10sccm	40±10sccm	40±10sccm	40±10sccm	40±10sccm	40±10sccm
通信接口	RS485	RS485	RS485	RS485	RS485	RS485