干式螺杆真空泵/干式变螺距螺杆真空泵
用途概述
DS/DVS系列干式螺杆真空泵凭借其创新设计与卓越性能，成为半导体、制药、石化、化工等高要求行业的理想选择。针对复杂真空工艺需求，该系列通过提供清洁无油的真空环境，完美适配腐蚀性气体、可凝性蒸气及含粉尘颗粒气体的抽除场景，助力企业及科研实验实现高效生产与环保目标。其广泛适用于真空钎焊、镀膜、退火、干燥等关键工艺，并在航空航天、电子、冶金、医药等领域推动技术升级，逐步替代传统油封机械泵与液环泵，成为绿色智能制造的核心装备。
产品特点
技术特点
※工作腔内无润滑油，彻底杜绝油气污染，确保真空环境纯净度，显著提升半导体、镀膜等产品良率；
※工艺气体回收利用率高，尾气处理更便捷，助力企业降低环保成本，符合严苛排放标准；
※避免润滑油乳化、变质引发的故障，系统稳定性提升，维护成本降低。
智能操控
※多级螺旋转子设计精准适配腐蚀性气体、可凝性蒸气及含微粒粉尘的复杂气体环境；
※泵腔及转子表面覆盖防腐涂层，耐受强酸、强碱等恶劣介质，使用寿命延长；
※间隙密封结构对微小颗粒不敏感，直通式泵腔设计避免粉尘沉积，保障连续稳定运行。
高效节能
※螺杆啮合传动效率优化，能耗较传统泵有效降低，搭配智能变频配置进一步节能；
※工作温度低，有效较少冷却水的消耗，契合绿色工厂低碳目标；
※运行噪声低，体积紧凑占地少，优化车间空间布局。
灵活组合
※支持单机或多泵组合（如与罗茨泵、分子泵联动）构建无油真空机组，灵活匹配1Pa至大气压的宽压力范围；
※防爆配置版本可安全抽除易燃易爆气体，满足化工、矿山等特殊场景需求（选配）。
|
差异项目 |
等螺距螺杆真空泵（DS系列） |
变螺距螺杆真空泵（DVS系列） |
|
结构与原理差异 |
螺杆螺距恒定，转子啮合间隙均匀，螺旋转子的螺距在整个轴向长度上保持一致，气体在泵腔内的压缩过程较为均匀 |
螺杆螺距由进气端至排气端阶梯式递减，螺旋转子的螺距沿着轴向逐渐变化，压缩比动态优化，抽速曲线更陡峭，可快速建立高真空环境； |
|
性能特点差异 |
抽气速率稳定，在较宽的压力范围内能够保持相对均衡的抽气性能，对一般气体的抽取适应性强 |
由于其独特的变螺距设计，气体压缩更充分，更易达到较高的极限真空度，同时在处理可凝性气体时，能有效避免气体在泵腔内凝结，减少故障发生。 |
|
适用场景差异 |
适用于真空度要求均衡，处理气体成分相对单一、对真空度要求适中的工况，如食品真空包装、一般的真空输送等场景 |
适合气体成分复杂、瞬时流量变化大的工艺，例如半导体芯片制造中的真空镀膜腔体换气、制药行业的真空干燥，以及石化、化工行业中需要处理可凝性蒸气和高压缩比要求的蒸馏、精馏等工艺。 |
技术参数
|
产品名称 |
干式螺杆真空泵 |
|
型号 |
极限压力 |
抽气速率 |
进气口径 |
排气口径 |
冷却方式 |
功率 |
质量 |
|
DS-3 |
50Pa |
10m³/h |
≈3L/s |
KF16 |
KF16 |
风冷 |
750W |
48kg |
|
DS-6 |
5Pa |
20m³/h |
≈6L/s |
KF25 |
KF25 |
风冷 |
1100W |
55kg |
|
DS-14 |
5Pa |
50m³/h |
≈14L/s |
KF40 |
KF25 |
风冷 |
1500W |
90kg |
|
DS-22 |
5Pa |
80m³/h |
≈22L/s |
KF40 |
KF40 |
风冷 |
2200W |
110kg |
|
DS-50 |
2Pa |
180m³/h |
≈50L/s |
40mm |
40mm |
2.5L/min |
7500W |
295kg |
|
DS-69 |
2Pa |
250m³/h |
≈69L/s |
80mm |
80mm |
2.6L/min |
7500W |
350kg |
|
DS-111 |
2Pa |
400m³/h |
≈111L/s |
100mm |
100mm |
2.8L/min |
15000W |
480kg |
|
DS-150 |
2Pa |
540m³/h |
≈150L/s |
150mm |
150mm |
3L/min |
18500W |
520kg |
|
DS-200 |
2Pa |
720m³/h |
≈200L/s |
200mm |
200mm |
4L/min |
22000W |
680kg |
|
DS-300 |
2Pa |
1080m³/h |
≈300L/s |
250mm |
200mm |
5.5L/min |
30000W |
950kg |
|
产品名称 |
干式变螺距螺杆真空泵 |
|
型号 |
极限压力 |
抽气速率 |
进气口径 |
排气口径 |
冷却方式 |
功率 |
质量 |
|
DVS-69 |
2Pa |
250m³/h |
≈69L/s |
65mm |
40mm |
2.5L/min |
7500W |
295kg |
|
DVS-111 |
2Pa |
400m³/h |
≈111L/s |
80mm |
40mm |
2.6L/min |
7500W |
350kg |
|
DVS-160 |
2Pa |
576m³/h |
≈160L/s |
100mm |
65mm |
2.8L/min |
15000W |
480kg |
|
DVS-220 |
2Pa |
792m³/h |
≈220L/s |
150mm |
65mm |
3L/min |
18500W |
520kg |
|
DVS-330 |
2Pa |
1188m³/h |
≈330L/s |
150mm |
65mm |
4L/min |
30000W |
680kg |
|
DVS-450 |
2Pa |
1620m³/h |
≈450L/s |
200mm |
80mm |
6L/min |
45000W |
950kg |
|
DVS-280 |
100Pa |
1008m³/h |
≈280L/s |
150mm |
65mm |
3.2L/min |
22000W |
520kg |
|
DVS-300 |
100Pa |
1080m³/h |
≈300L/s |
150mm |
65mm |
4L/min |
22000W |
520kg |
|
DVS-400 |
100Pa |
1440m³/h |
≈400L/s |
150mm |
65mm |
5L/min |
37000W |
680kg |
