罗茨真空泵

干式螺杆真空泵/罗茨真空泵/真空泵/分子泵
用途概述
干式螺杆真空泵、罗茨真空泵、分子泵凭借其创新设计与卓越性能，成为半导体、制药、石化、化工等高要求行业的理想选择。针对复杂真空工艺需求，该系列通过提供清洁无油的真空环境，完美适配腐蚀性气体、可凝性蒸气及含粉尘颗粒气体的抽除场景，助力企业及科研实验实现高效生产与环保目标。其广泛适用于真空钎焊、镀膜、退火、干燥等关键工艺，并在航空航天、电子、冶金、医药等领域推动技术升级，逐步替代传统油封机械泵与液环泵，成为绿色智能制造的核心装备，支持单机或多泵组合（如螺杆罗茨泵联动）构建干式真空泵机组。
产品特点
技术特点
※水冷循环散热技术，可消除风扇高速运转引发的空气扰动扬尘问题；
※工作腔内无润滑油，彻底杜绝油气污染，确保真空环境纯净度，显著提升产品良率；
※工艺气体回收利用率高，尾气处理更便捷，助力企业降低环保成本，符合严苛排放标准；
智能操控
※泵腔及转子表面可选配多种防腐涂层，耐受强酸、强碱等恶劣介质，使用寿命延长；
※多级螺旋转子设计精准适配腐蚀性气体、可凝性蒸气及含微粒粉尘的复杂气体环境；
※间隙密封结构对微小颗粒不敏感，直通式泵腔设计避免粉尘沉积，保障连续稳定运行；
高效节能
※优化转子平衡技术与多层减震结构设计，实现超低振动与低噪运行；
※工作温度低，有效较少冷却水的消耗，契合绿色工厂低碳目标，运行噪声低；
※螺杆啮合传动效率优化，能耗较传统泵有效降低，搭配智能变频配置进一步节能；
罗茨真空
※罗茨真空泵适用于蒸馏蒸发、冷冻干燥等含大量水蒸气的复杂工况；
※当作为前级泵时，可高效抽除水蒸气混合气体，保障生产流程的连续性与稳定性；
※工作压力范围宽，可从大气压平滑过渡至高真空状态，灵活适配多行业多阶段工艺需求
可选配置
①氮气吹扫：针对少量粉尘环境优化，通过特殊密封结构及氮气吹扫装置，可耐受生产过程中产生的细微颗粒（如硅粉、石墨粉尘），避免堵塞或磨损，显著延长设备寿命，减少维护频率，降低停机损失，为生产研发的连续性提供坚实保障。
②PLC控制：可实时监测真空度、压力及生产负载变化，动态调节泵组转速与功率输出。
设备启动迅速，可按需供能，既能避免过度抽气造成的能源浪费，又能为高敏感工艺营造稳定真空环境，如在单晶硅拉制过程中，持续提供恒定低压条件，确保晶体生长品质。
③噪音控制：若工艺环境对噪音敏感（如实验室、精密车间等），可加装消音器；
④钣金外壳：提供防护（防尘、防溅）、提升设备整体美观度及结构强度；
技术参数