干式螺杆罗茨一体式真空工作站

干式螺杆罗茨一体式真空工作站
用途概述
JRZ系列干式螺杆罗茨一体式真空工作站作为高真空获取的核心设备，广泛适配真空镀膜、化工、食品、医药、冶炼、电机制造等精密工业领域。特别适用于蒸馏蒸发、冷冻干燥等含大量水蒸气的复杂工况，当搭配双级水环泵作为前级泵时，可高效抽除水蒸气混合气体，保障生产流程的连续性与稳定性，显著提升工艺效率与产品质量。采用全无油润滑创新设计，从源头彻底杜绝油蒸汽污染，确保真空系统纯净度。特别适用于半导体、制药等对洁净度要求极高的行业，同时对微小粉尘具有耐受性，保障生产环境的高标准要求。
箱式结构、外观设计精巧
整体采用箱式外包设计，不仅美观大方，还能有效保护内部组件，增强设备的防护性能，且便于安装与维护，节省空间与时间成本。
无油洁净，适配高敏感工艺
采用干式螺杆真空泵（前级泵）与罗茨真空泵（主泵）串联架构，实现全流程无油运行，从根源上杜绝油蒸汽污染风险。专为高洁净需求场景设计，在光伏单晶硅生长中，有效防止硅材料氧化，保障晶体纯度；于锂电池电极涂布环节，避免油污干扰电极导电性，提升电池性能；在半导体刻蚀工艺里，确保芯片制造环境洁净，助力精密制程稳定进行。
抗粉尘设计，应对复杂环境
针对少量粉尘环境优化，通过特殊密封结构与耐磨材料设计，可耐受生产过程中产生的细微颗粒（如硅粉、石墨粉尘），避免堵塞或磨损，显著延长设备寿命，减少维护频率，降低停机损失，为生产研发的连续性提供坚实保障。
智能变频，精准匹配需求
搭载智能变频PLC控制系统，实时监测真空度、压力及生产负载变化，动态调节泵组转速与功率输出。设备启动迅速，可按需供能，既能避免过度抽气造成的能源浪费，又能为高敏感工艺营造稳定真空环境，如在单晶硅拉制过程中，持续提供恒定低压条件，确保晶体生长品质。
高效散热，杜绝扬尘隐患
采用水冷循环散热技术，相比传统风冷，散热效率显著提升，同时彻底消除风扇高速运转引发的空气扰动扬尘问题。特别适用于光伏车间硅粉悬浮、锂电池洁净厂房等对粉尘控制要求极高的环境，为洁净生产保驾护航。
宽压力范围，覆盖多元工艺
工作压力范围宽广，可从大气压平滑过渡至高真空状态，灵活适配多行业多阶段工艺需求。无论是光伏单晶硅生长的减压拉晶、锂电池负极材料的真空干燥，还是半导体设备的预抽真空，均可一站式满足，减少设备切换频率，提升产线自动化水平与生产效率。
 

行业领域	典型应用场景
光伏与半导体制造	晶硅拉晶、晶片制备、真空退火等环节提供洁净真空支持，适应高温粉尘环境，保障精密制造工艺要求
锂电与新能源	电芯极片涂布、真空干燥、注液预抽等工序提供连续稳定抽气，适应多变工况，提高生产节拍与良率
医药与生物工程	冷冻干燥、真空灭菌、浓缩等含湿气流程中保持高效抽气，满足GMP洁净标准，保障药品纯度与环境合规性
化工与精细加工	蒸馏、蒸发等复杂工况中与水环泵配套处理水蒸气混合气体，适应腐蚀性与潮湿环境，延长设备寿命
电子器件与真空镀膜	适用于薄膜沉积、电子束焊接、光学镀膜等高洁净需求工艺，零油污染设计保障产品性能和生产环境质量
科研院所与中试基地	满足材料烧结、真空脱气、等离子体实验等多样化试验要求，具备智能调节能力，适配科研中的多变工况与能效管理

 
技术参数

型号	JRZ-150-S3	JRZ-150-S2	JRZ-300-S3	JRZ-300-S2	JRZ-600-S4	JRZ-600-S3	JRZ-1200-VS4
前级螺杆泵	DS50	DS70	DS110	DS150	DS150	DS200	DVS300
罗茨主泵	RZ150	RZ150	RZ300	RZ300	RZ600	RZ600	RZ1200
抽气速率	150L/s	150L/s	300L/s	300L/s	600L/s	600L/s	1200L/s
抽速比	3	2 .14	2 .73	2	4	3	4
极限压力	0 . 5Pa	0 .1Pa	0 .1Pa	0 .1Pa	0 .1Pa	0 .1Pa	0 .2Pa
主泵功率	3000W	3000W	3500W	3500W	4500W	4500W	11000W
前级泵功率	7500W	7500W	4500W	4500W	4500W	7500W	7500W
进气口径	100mm	100mm	150mm	150mm	145mm	145mm	250mm
排气口径	40mm	40mm	50mm	50mm	40mm	40mm	40mm
冷却水量	4L/min	4L/min	5L/min	5L/min	6L/min	7L/min	9L/min
重量	600kg	600kg	650kg	650kg	650kg	700kg	1250kg