干式螺杆真空泵

干式螺杆真空泵
用途概述
干式螺杆真空泵，分子泵凭借其创新设计与卓越性能，成为半导体、制药、石化、化工等高要求行业的理想选择。针对复杂真空工艺需求，该系列通过提供清洁无油的真空环境，完美适配腐蚀性气体、可凝性蒸气及含粉尘颗粒气体的抽除场景，助力企业及科研实验实现高效生产与环保目标。其广泛适用于真空钎焊、镀膜、退火、干燥等关键工艺，并在航空航天、电子、冶金、医药等领域推动技术升级，逐步替代传统油封机械泵与液环泵，成为绿色智能制造的核心装备，支持单机或多泵组合（如与螺杆罗茨泵联动）构建干式真空泵机组。
产品特点
技术特点
※水冷循环散热技术，可消除风扇高速运转引发的空气扰动扬尘问题；
※工作腔内无润滑油，彻底杜绝油气污染，确保真空环境纯净度，显著提升产品良率；
※工艺气体回收利用率高，尾气处理更便捷，助力企业降低环保成本，符合严苛排放标准；
防腐涂层
※泵腔及转子表面可选配多种防腐涂层，耐受强酸、强碱等恶劣介质，使用寿命延长；
※多级螺旋转子设计精准适配腐蚀性气体、可凝性蒸气及含微粒粉尘的复杂气体环境；
※间隙密封结构对微小颗粒不敏感，直通式泵腔设计避免粉尘沉积，保障连续稳定运行；
高效节能
※优化转子平衡技术与多层减震结构设计，实现超低振动与低噪运行；
※工作温度低，有效较少冷却水的消耗，契合绿色工厂低碳目标，运行噪声低；
※螺杆啮合传动效率优化，能耗较传统泵有效降低，搭配智能变频配置进一步节能；
可选配置
①氮气吹扫：针对少量粉尘环境优化，通过特殊密封结构及氮气吹扫装置，可耐受生产过程中产生的细微颗粒（如硅粉、石墨粉尘），避免堵塞或磨损，显著延长设备寿命，减少维护频率，降低停机损失，为生产研发的连续性提供坚实保障。
②PLC控制：可实时监测真空度、压力及生产负载变化，动态调节泵组转速与功率输出。
设备启动迅速，可按需供能，既能避免过度抽气造成的能源浪费，又能为高敏感工艺营造稳定真空环境，如在单晶硅拉制过程中，持续提供恒定低压条件，确保晶体生长品质。
③噪音控制：若工艺环境对噪音敏感（如实验室、精密车间等），可加装消音器；
④钣金外壳：提供防护（防尘、防溅）、提升设备整体美观度及结构强度；
技术参数

名称	干式螺杆真空泵（变螺距）
型号	SVB20-50	SVB50-50	SVB80-50	SVB20-3	SVB50-3	SVB80-3
抽速	20m³/h	50m³/h	80m³/h	20m³/h	50m³/h	80m³/h
极限压力	50Pa			3Pa
冷却方式	风冷			风冷
进/排气口	KF25/KF25	KF40/KF25	KF40/KF25	KF25/KF25	KF40/KF25	KF40/KF25
电源电压	220V/50Hz
电机功率	1100W	2200W	3000W	1100W	1500W	2200W
外形尺寸	673*303*275	769*331*292	844*331*292	673*303*275	769*331*292	844*331*292

名称	干式螺杆真空泵 （等螺距）
型号	SVE180-2	SVE250-2	SVE400-2	SVE540-2	SVE720-2	SVE1080-2
抽速	180m³/h	250m³/h	400m³/h	540m³/h	720m³/h	1080m³/h
极限压力	2Pa
冷却方式	水冷
冷却水量	2 . 5L/min	2 .6L/min	2 .8L/min	3L/min	4L/min	5 . 5L/min
进/排气口	65/40mm	80/40mm	100/65	150/65	150/65	200/80
电机功率	7 . 5kW	7 . 5kW	15kW	18 . 5kW	22kW	30kW
外形尺寸	1207*400* 330	1243*400* 330	1557*490*405	1538* 530*430	1735*600*486	1735*600*486

名称	干式螺杆真空泵 （变螺距）
型号	SVB250-2	SVB400-2	SVB576-2	SVB792-2	SVB1188-2	SVB1620-2	SVB1008-2	SVB1080-2	SVB1440-2
抽速	250m³/h	400m³/h	576m³/h	792m³/h	1188m³/h	1620m³/h	1008m³/h	1080m³/h	1440m³/h
极限压力	2Pa						100Pa
冷却方式	水冷						水冷
冷却水量	2 . 5L/min	2 .6L/min	2 .8L/min	3L/min	4L/min	6L/min	3 .2L/min	4L/min	5L/min
进/排气口	65/40mm	80/40mm	100/65mm	150/65mm	150/65mm	200/80mm	150/65mm	150/65mm	150/65mm
电机功率	7 . 5kW	7 . 5kW	15kW	18 . 5kW	30kW	45kW	22kW	22kW	37kW

名称	干式螺杆真空泵
型号	GLR-S8 GLR-S8EX	GLR-S20 GLR-S20EX	GLR-S30 GLR-S30EX	GLR-S40 GLR-S40EX	GLR-S60 GLR-S60EX	GLR-S80 GLR-S80EX
抽速	8m³/h	20m³/h	30m³/h	40m³/h	60m³/h	80m³/h
转子结构	等径变螺距	等径变螺距	等径变螺距	等径变螺距	等径变螺距	等径变螺距
冷却方式	风冷	风冷	风冷	风冷	风冷	风冷
防腐涂层	特氟龙涂层（可选哈氏合金涂层）				特氟龙涂层（可选哈氏合金涂层）
极限压力	≤1Pa				≤3pa
	≤1*10⁻²mbar				≤3*10⁻²Pa
	≤7.5*10⁻³Torr				≤2.25*10⁻²Torr
进气口/出气口	KF25		KF40		KF40
启动方式	变频启动（Starter）		变频启动（Starter）		变频启动（Starter）
电源电压	380V 50Hz（可选220V 50Hz）				380V 50Hz（可选220V 50Hz）
功率	1100W	1100W	1100W	1500W	1500W	2200W
吹扫装置	标配	标配	标配	标配	标配	标配
吹扫装置压力	1.5 ～2bar	1.5 ～2bar	1.5 ～2bar	1.5 ～2bar	1.5 ～2bar	1.5 ～2bar
吹扫装置接口	6mm快插口	6mm快插口	6mm快插口	6mm快插口	6mm快插口	6mm快插口