干式等径变距螺杆真空泵
用途概述
干式螺杆真空泵、罗茨真空泵、螺杆罗茨真空泵机组凭借其创新设计与卓越性能，成为半导体、制药、石化、化工等高要求行业的理想选择。针对复杂真空工艺需求，该系列通过提供清洁无油的真空环境，完美适配腐蚀性气体、可凝性蒸气及含粉尘颗粒气体的抽除场景，助力企业及科研实验实现高效生产与环保目标。其广泛适用于真空钎焊、镀膜、退火、干燥等关键工艺，并在航空航天、电子、冶金、医药等领域推动技术升级，逐步替代传统油封机械泵与液环泵，成为绿色智能制造的核心装备。
产品特点
技术特点
※水冷循环散热技术，可消除风扇高速运转引发的空气扰动扬尘问题；
※工作腔内无润滑油，彻底杜绝油气污染，确保真空环境纯净度，显著提升产品良率；
※工艺气体回收利用率高，尾气处理更便捷，助力企业降低环保成本，符合严苛排放标准；
智能操控
※泵腔及转子表面可选配多种防腐涂层，耐受强酸、强碱等恶劣介质，使用寿命延长；
※多级螺旋转子设计精准适配腐蚀性气体、可凝性蒸气及含微粒粉尘的复杂气体环境；
※间隙密封结构对微小颗粒不敏感，直通式泵腔设计避免粉尘沉积，保障连续稳定运行；
高效节能
※优化转子平衡技术与多层减震结构设计，实现超低振动与低噪运行；
※工作温度低，有效较少冷却水的消耗，契合绿色工厂低碳目标，运行噪声低；
※螺杆啮合传动效率优化，能耗较传统泵有效降低，搭配智能变频配置进一步节能；
可选配置
①氮气吹扫：针对少量粉尘环境优化，通过特殊密封结构及氮气吹扫装置，可耐受生产过程中产生的细微颗粒（如硅粉、石墨粉尘），避免堵塞或磨损，显著延长设备寿命，减少维护频率，降低停机损失，为生产研发的连续性提供坚实保障。
②PLC控制：可实时监测真空度、压力及生产负载变化，动态调节泵组转速与功率输出。
设备启动迅速，可按需供能，既能避免过度抽气造成的能源浪费，又能为高敏感工艺营造稳定真空环境，如在单晶硅拉制过程中，持续提供恒定低压条件，确保晶体生长品质。
③噪音控制：若工艺环境对噪音敏感（如实验室、精密车间等），可加装消音器；
④钣金外壳：提供防护（防尘、防溅）、提升设备整体美观度及结构强度；
一、介质特性：明确抽取介质的具体类型（如气体、液体混合物等），是否包含以下特殊成分，喆图技术部
据此可确定泵体涂层方案（如耐腐蚀涂层、耐磨涂层等），并判断是否需额外配置过滤器（针对粉尘/颗粒物）
蒸汽（需确认蒸汽类型及含量）
粉尘（需确认粒径范围及浓度）
腐蚀性介质（需说明具体腐蚀性物质及浓度，如酸/碱/有机溶剂等）
二、性能参数：被抽容器的有效容积（需明确具体数值），目标真空度（需注明是极限真空还是工作真空范围）达到目标真空度所需的时间要求（单位：分钟/小时，如“30分钟内抽至10Pa”）。
三、安装空间：安装位置的实际可用空间尺寸（宽*深*高）以及现场安装环境（通风条件、周边设备间距等）
DS、DVS：干式螺杆真空泵
技术参数
|
产品名称 |
干式等径等距螺杆真空泵 |
|
型号 |
极限压力 |
抽气速率 |
进气口径 |
排气口径 |
冷却方式 |
功率 |
质量 |
|
DS-6 |
5Pa |
20m³/h |
≈ 6L/s |
KF25 |
KF25 |
风冷 |
1100W |
55kg |
|
DS-14 |
5Pa |
50m³/h |
≈ 14L/s |
KF40 |
KF25 |
风冷 |
1500W |
90kg |
|
DS-22 |
5Pa |
80m³/h |
≈ 22L/s |
KF40 |
KF40 |
风冷 |
2200W |
110kg |
|
DS-50 |
2Pa |
180m³/h |
≈ 50L/s |
40mm |
40mm |
2.5L/min |
7500W |
295kg |
|
DS-69 |
2Pa |
250m³/h |
≈ 69L/s |
80mm |
80mm |
2.6L/min |
7500W |
350kg |
|
DS-111 |
2Pa |
400m³/h |
≈ 111L/s |
100mm |
100mm |
2.8L/min |
15000W |
480kg |
|
DS-150 |
2Pa |
540m³/h |
≈ 150L/s |
150mm |
150mm |
3L/min |
18500W |
520kg |
|
DS-200 |
2Pa |
720m³/h |
≈ 200L/s |
200mm |
200mm |
4L/min |
22000W |
680kg |
|
DS-300 |
2Pa |
1080m³/h |
≈ 300L/s |
250mm |
200mm |
5.5L/min |
30000W |
950kg |
|
产品名称 |
干式等径变距螺杆真空泵 |
|
型号 |
极限压力 |
抽气速率 |
进气口径 |
排气口径 |
冷却方式 |
功率 |
质量 |
|
DVS-69 |
2Pa |
250m³/h |
≈ 69L/s |
65mm |
40mm |
2.5L/min |
7500W |
295kg |
|
DVS-111 |
2Pa |
400m³/h |
≈ 111L/s |
80mm |
40mm |
2.6L/min |
7500W |
350kg |
|
DVS-160 |
2Pa |
576m³/h |
≈ 160L/s |
100mm |
65mm |
2.8L/min |
15000W |
480kg |
|
DVS-220 |
2Pa |
792m³/h |
≈ 220L/s |
150mm |
65mm |
3L/min |
18500W |
520kg |
|
DVS-330 |
2Pa |
1188m³/h |
≈ 330L/s |
150mm |
65mm |
4L/min |
30000W |
680kg |
|
DVS-450 |
2Pa |
1620m³/h |
≈450L/s |
200mm |
80mm |
6L/min |
45000W |
950kg |
|
DVS-280 |
100Pa |
1008m³/h |
≈ 280L/s |
150mm |
65mm |
3.2L/min |
22000W |
520kg |
|
DVS-300 |
100Pa |
1080m³/h |
≈ 300L/s |
150mm |
65mm |
4L/min |
22000W |
520kg |
|
DVS-400 |
100Pa |
1440m³/h |
≈400L/s |
150mm |
65mm |
5L/min |
37000W |
680kg |
