旋片式真空泵（单级）
用途概述
NEX系列旋片式真空泵以“高稳定性、强环境适应、智能化控制”为核心，重新定义中低真空设备的性能标杆，是追求高效、可靠、环保的工业用户的理想选择。本系列真空泵既然可独立运行，满足各类基础真空需求；也能与增压泵、扩散泵、分子泵等超高真空泵串联，作为前级泵协同作业。在电子器件制造中，保障芯片封装、镀膜等精密工艺的真空环境；于真空干燥领域，加速物料胶水进程；在过滤、浸渍、涂膜、焊接、冶炼等工业流程，以及实验室科研活动里，均发挥着不可或缺的作用，为不同行业的生产与研究筑牢真空基础。
产品特点
精密结构，稳定可靠
采用整体式缸体结构，制造精度达到行业领先水平，搭配经大量实践验证的旋片技术，运行平稳无波动，赋予系统更高可靠性，保障长时间稳定作业，为您的生产与研究保驾护航。
灵活调节，精准适配
多档气镇设计，可根据实际工况灵活调整，精准满足不同真空度要 求，高效处理水蒸气，无论是潮湿气体环境，还是对真空度有严苛标 准的作业场景，都能轻松应对。
强韧润滑，持久耐用
内置齿轮泵及恒压供油机构，实现强制润滑循环模式，即便在高进气 压强下(≤10Torr），也能确保各部件得到充分润滑，确保轴承与旋 片始终处于最佳润滑状态，运行顺畅无阻，保障设备稳定可靠运行， 大幅降低故障风险。
双重密封，零泄漏设计
选用氟橡胶密封件，显著提升设备抗腐蚀能力，从根源上解决传统真空泵 常见的漏油难题，确保真空环境纯净，减少设备损耗与维护频率。
高效散热，零水冷依赖
创新风冷式散热系统，通过优化风道设计与高效电机，无需外接水冷 装置即可快速导出运行热量，减少系统安装复杂度与维护成本，即便 在高强度运行下，也能快速散热，确保设备始终处于理想工作温度， 延长使用寿命,特别适合无水冷配套的车间或移动场景。
防返油结构设计
单级：在突发断电、停机等紧急状况下，该结构能迅速响应，有效杜绝返油现 象，避免因润滑油逆流污染真空系统及工艺设备。无论是对实验数据精度要求高 的科研项目，还是对产品质量把控严格的工业生产，都能确保设备稳定运行，减 少因设备污染导致的维护成本与时间损耗。
双级：双重返油，零泄漏设计，停机瞬间自动关闭油路，配合气镇通道残余气体 反冲，100%杜绝油蒸汽倒灌污染真空系统，隔绝泵油回流，可靠保护真空系统免 受油污污染，维持系统洁净，降低后续清洁成本与维护难度，保护后续精密设备 （如电子束焊接腔、光学镀膜机）。
高效油雾过滤系统
单级旋片式真空泵：内置高品质油雾过滤器，在保障真空性能的同时，可有效拦截 并过滤油雾颗粒，并将排放到环境中的油雾含量降低，不仅维护了工作场所的清洁 卫生，更契合环保法规要求，助力企业实现绿色生产。
弱酸弱碱，从容应对(NEX-DF系列)
在化工、制药、半导体等行业的生产场景中，经常会面临含有轻度腐蚀气体的复杂工况。这些环境中，酸性气体（如氯气、二氧化硫）、强氧化性气体（如臭氧、过氧 化氢蒸气）以及高湿度水蒸气的协同作用，会对普通真空泵的金属部件、密封材料造成持续性侵蚀，导致设备频繁故障、使用寿命大幅缩短。
针对此类工况，上海喆图推出的NEX-F系列真空泵堪称行业解决方案典范。该系列产品采用316L不锈钢弹簧，其优异的耐酸碱性与抗氯离子腐蚀性 能，能在弱酸性环境中长期稳定工作；搭配高纯度氟橡胶密封圈，凭借卓越的化学惰性与耐候性，可有效抵御强氧化性气体侵蚀，杜绝气体泄漏风险；创新设计的耐腐蚀泵体，表面经过特殊涂层处理，形成致密防护屏障，不仅耐受多种腐蚀性介质，还具备自清洁功能，减少杂质附着引发的局部腐蚀。 值得注意的是，若您的使用环境存在王水、氢氟酸等高浓度强腐蚀性介质，建议选择喆图干式无油螺杆真空泵，该产品采用全陶瓷涂层与特种工程塑料材质，能从容应对极端腐蚀环境
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行业领域 |
典型应用场景 |
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实验室分析 |
旋转蒸发、真空浓缩、离心浓缩等样品前处理 |
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配套质谱、GC、HPLC 等分析仪器，提升检测灵敏度与重复性 |
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电子制造 |
芯片封装、IC测试、半导体镀膜、光学元件蒸镀 |
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LED、TFT-LCD 面板制造中的真空干燥与脱气 |
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化工与制药 |
原料药、辅料真空干燥与浓缩 |
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反应釜抽真空、真空过滤、提纯过程 |
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NEX-F 系列适用于处理弱酸、臭氧等腐蚀性气体 |
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材料与冶金 |
真空烧结、热处理、真空焊接等高温工艺 |
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绝缘材料、碳纤维、树脂件的真空浸渍，提高致密度与性能一致性 |
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食品与包装 |
真空包装、真空冷却、干燥工艺辅助 |
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提高产品保鲜周期，适配移动生产线或非水冷车间 |
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环保与新能源 |
电池材料真空干燥、电解液注液系统稳定支持 |
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废气收集、挥发性气体转移等预处理环节，保障环境安全 |
|
科研探索 |
真空系统集成配套：与扩散泵、分子泵组成超高真空系统 |
|
真空模拟试验、航天材料脱气、低压物理实验等基础研究应用 |
技术参数
|
名称 |
单级旋片式真空泵 |
|
型号 |
NEX-20 |
NEX-20K |
NEX-40 |
NEX-63 |
NEX-100 |
NEX-200 |
NEX-300 |
|
抽速50Hz |
20m³/h |
20m³/h |
40m³/h |
63m³/h |
100m³/h |
200m³/h |
300m³/h |
|
（5.6L/s） |
（5.6L/s） |
（11.1L/s） |
（17.5L/s） |
（27.8L/s） |
（55.6L/s） |
（83.3L/s） |
|
极限真空 |
2mba |
0.5mba |
0.1mba |
|
可选口径 |
G3/4"或G1/2" |
G1 -1/4" |
G2" |
|
电压50Hz |
220~275V/380~415V |
200~240V/345~415V |
345~415V |
|
电压60Hz |
220~280V/380~440V |
220~275V/380~480V |
380~480V |
|
电机功率 |
750W |
900W |
1500W |
2000W |
3000W |
5500W |
7500W |
|
转速50Hz |
3000r/min |
1440r/min |
1455r/min |
|
转速60Hz |
3600r/min |
1720r/min |
1720r/min |
|
油量L |
0.45 |
0.45 |
1 |
2 |
2 |
6 |
8 |
|
重量kg |
18.5 |
18.5 |
43 |
56 |
70 |
149 |
193 |
|
外形尺寸W*D*H(mm) |
316*243*218 |
316*243*184 |
650*150*327 |
670*150*324 |
760*170*353 |
880*225*320 |
1040*260*350 |
|
名称 |
双级旋片式真空泵 |
|
型号 |
NEX-D4 |
NEX-D8 |
NEX-D16 |
NEX-D24 |
NEX-D30 |
NEX-D48 |
NEX-D65 |
NEX-D90 |
|
抽速50Hz |
4m³/h |
8m³/h |
16m³/h |
24m³/h |
30m³/h |
48m³/h |
65m³/h |
90m³/h |
|
1.1L/s |
2.2L/s |
4.4L/s |
6.6L/s |
8.3L/s |
13.3L/s |
18L/s |
25L/s |
|
极限分压力 |
5×10-²Pa |
5×10-²Pa |
4×10-²Pa |
4×10-²Pa |
4×10-²Pa |
4×10-²Pa |
4×10-²Pa |
4×10-²Pa |
|
（关气镇） |
|
极限全压力 |
5×10-¹Pa |
5×10-¹Pa |
4×10-¹Pa |
4×10-¹Pa |
4×10-¹Pa |
4×10-¹Pa |
4×10-¹Pa |
4×10-¹Pa |
|
（关气镇） |
|
极限全压力 |
10Pa |
10Pa |
8Pa |
8Pa |
8Pa |
10Pa |
10Pa |
10Pa |
|
（开气镇） |
|
电源 |
单相/三相 |
单相/三相 |
单相/三相 |
单相/三相 |
单相/三相 |
三相 |
三相 |
三相 |
|
电机功率kW |
0.4/0.37 |
0.4/0.37 |
1.1 |
1.1 |
1.1 |
1.5 |
2.2 |
3 |
|
电机转速r/min |
1440/1720 |
1440/1720 |
1440/1720 |
1440/1720 |
1440/1720 |
1440/1720 |
1440/1720 |
1440/1720 |
|
油量L |
0.6~1.0 |
0.6~1.0 |
0.9~1.5 |
1.3~2.0 |
1.3~2.0 |
3.3~4.5 |
3.3~4.5 |
3.3~4.5 |
|
进/排接气口 |
KF16/25 |
KF16/25 |
KF25/25 |
KF25/40 |
KF25/40 |
KF40/40 |
KF40/40 |
KF40/40 |
|
防护等级 |
IP44 |
IP44 |
IP44 |
IP44 |
IP44 |
IP44 |
IP44 |
IP44 |
|
重量kg |
19 |
21 |
30 |
35 |
43 |
62 |
65 |
68 |
|
外形尺寸W*D*H(mm) |
440*144*217 |
440*144*217 |
530*188*272 |
530*188*272 |
567*188*272 |
730*234*358 |
730*234*358 |
730*234*358 |
|
名称 |
轻防腐双级旋片式真空泵 |
|
型号 |
NEX-DF4 |
NEX-DF8 |
NEX-DF16 |
NEX-DF24 |
NEX-DF30 |
NEX-DF48 |
NEX-DF65 |
NEX-DF90 |
|
抽速50Hz |
4m³/h |
8m³/h |
16m³/h |
24m³/h |
30m³/h |
48m³/h |
65m³/h |
90m³ /h |
|
1.1L/s |
2.2L/s |
4.4L/s |
6.6L/s |
8.3L/s |
13.3L/s |
18L/s |
25L/s |
极限分压力
（关气镇） |
5×10-²Pa |
5×10-²Pa |
4×10-²Pa |
4×10-²Pa |
4×10-²Pa |
4×10-²Pa |
4×10-²Pa |
4×10-²Pa |
极限全压力
（关气镇） |
5×10-¹Pa |
5×10-¹Pa |
4×10-¹Pa |
4×10-¹Pa |
4×10-¹Pa |
4×10-¹Pa |
4×10-¹Pa |
4×10-¹Pa |
极限全压力
（开气镇） |
10Pa |
10Pa |
8Pa |
8Pa |
3Pa |
3Pa |
3Pa |
3Pa |
|
电源 |
单相/三相 |
单相/三相 |
单相/三相 |
单相/三相 |
单相/三相 |
三相 |
三相 |
三相 |
|
电机功率kW |
0.4/0.37 |
0.4/0.37 |
0.75/0.55 |
1.1 |
1.1 |
1.5 |
2.2 |
3 |
|
电机转速r/min |
1440/1720 |
1440/1720 |
1440/1720 |
1440/1720 |
1440/1720 |
1440/1720 |
1440/1720 |
1440/1720 |
|
油量L |
0.6~1.0 |
0.6~1.0 |
0.9~1.5 |
1.3~2.0 |
1.3~2.0 |
3.3~4.5 |
3.3~4.5 |
3.3~4.5 |
|
进/排接气口 |
KF16/25 |
KF16/25 |
KF25/25 |
KF25/40 |
KF25/40 |
KF40/40 |
KF40/40 |
KF40/40 |
|
防护等级 |
IP54 |
IP54 |
IP54 |
IP54 |
IP54 |
IP54 |
IP54 |
IP54 |
|
重量kg |
19 |
21 |
30 |
35 |
43 |
62 |
65 |
68 |
|
外形尺寸W*D*H(mm) |
440*144*217 |
440*144*217 |
530*188*272 |
530*188*272 |
567*188*272 |
730*234*358 |
730*234*358 |
730*234*358 |
