单级旋片式真空泵
用途概述
NEX-D系列单级旋片式真空泵广泛应用于半导体制造、真空镀膜、真空干燥、制药、食品包装、科研实验等多个领域。可针对多场景提供稳定可靠的真空保障，如芯片制造过程中的精密刻蚀与沉积工艺，真空镀膜行业对膜层均匀性与附着力的严格要求，制药行业对无菌真空环境的高标准把控，食品包装领域对延长产品保质期的需求等。
产品特点
精密结构，稳定可靠
采用整体式缸体结构，制造精度达到行业领先水平，搭配经大量实践验证的旋片技术，运行平稳无波动，赋予系统更高可靠性，保障长时间稳定作业，为您的生产与研究保驾护航。
灵活调节，精准适配
多档气镇设计，可根据实际工况灵活调整，精准满足不同真空度要 求，高效处理水蒸气，无论是潮湿气体环境，还是对真空度有严苛标 准的作业场景，都能轻松应对。
强韧润滑，持久耐用
内置齿轮泵及恒压供油机构，实现强制润滑循环模式，即便在高进气 压强下(≤10Torr），也能确保各部件得到充分润滑，确保轴承与旋 片始终处于最佳润滑状态，运行顺畅无阻，保障设备稳定可靠运行， 大幅降低故障风险。
双重密封，零泄漏设计
选用氟橡胶密封件，显著提升设备抗腐蚀能力，从根源上解决传统真空泵 常见的漏油难题，确保真空环境纯净，减少设备损耗与维护频率。
高效散热，零水冷依赖
创新风冷式散热系统，通过优化风道设计与高效电机，无需外接水冷 装置即可快速导出运行热量，减少系统安装复杂度与维护成本，即便 在高强度运行下，也能快速散热，确保设备始终处于理想工作温度， 延长使用寿命,特别适合无水冷配套的车间或移动场景。
防返油结构设计
单级：在突发断电、停机等紧急状况下，该结构能迅速响应，有效杜绝返油现 象，避免因润滑油逆流污染真空系统及工艺设备。无论是对实验数据精度要求高 的科研项目，还是对产品质量把控严格的工业生产，都能确保设备稳定运行，减 少因设备污染导致的维护成本与时间损耗。
高效油雾过滤系统
单级旋片式真空泵：内置高品质油雾过滤器，在保障真空性能的同时，可有效拦截 并过滤油雾颗粒，并将排放到环境中的油雾含量降低，不仅维护了工作场所的清洁 卫生，更契合环保法规要求，助力企业实现绿色生产。
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行业领域 |
典型应用场景 |
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实验室分析 |
旋转蒸发、真空浓缩、离心浓缩等样品前处理 |
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配套质谱、GC、HPLC 等分析仪器，提升检测灵敏度与重复性 |
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电子制造 |
芯片封装、IC测试、半导体镀膜、光学元件蒸镀 |
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LED、TFT-LCD 面板制造中的真空干燥与脱气 |
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化工与制药 |
原料药、辅料真空干燥与浓缩 |
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反应釜抽真空、真空过滤、提纯过程 |
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NEX-F 系列适用于处理弱酸、臭氧等腐蚀性气体 |
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材料与冶金 |
真空烧结、热处理、真空焊接等高温工艺 |
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绝缘材料、碳纤维、树脂件的真空浸渍，提高致密度与性能一致性 |
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食品与包装 |
真空包装、真空冷却、干燥工艺辅助 |
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提高产品保鲜周期，适配移动生产线或非水冷车间 |
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环保与新能源 |
电池材料真空干燥、电解液注液系统稳定支持 |
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废气收集、挥发性气体转移等预处理环节，保障环境安全 |
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科研探索 |
真空系统集成配套：与扩散泵、分子泵组成超高真空系统 |
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真空模拟试验、航天材料脱气、低压物理实验等基础研究应用 |
技术参数
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名称 |
单级旋片式真空泵 |
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型号 |
NEX-20 |
NEX-20K |
NEX-40 |
NEX-63 |
NEX-100 |
NEX-200 |
NEX-300 |
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抽速50Hz |
20m³/h |
20m³/h |
40m³/h |
63m³/h |
100m³/h |
200m³/h |
300m³/h |
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（5.6L/s） |
（5.6L/s） |
（11.1L/s） |
（17.5L/s） |
（27.8L/s） |
（55.6L/s） |
（83.3L/s） |
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抽速60Hz |
24m³/h |
24m³/h |
48m³/h |
76m³/h |
120m³/h |
240m³/h |
360m³/h |
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（6.7L/s） |
（6.7L/s） |
（13.3L/s） |
（21.1L/s） |
（33.3L/s） |
（66.7L/s） |
（100L/s） |
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极限真空 |
2mba |
0.5mba |
0.1mba |
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可选口径 |
G3/4"或G1/2" |
G1 -1/4" |
G2" |
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电压50Hz |
220~275V/380~415V |
200~240V/345~415V |
345~415V |
|
电压60Hz |
220~280V/380~440V |
220~275V/380~480V |
380~480V |
|
电机功率 |
750W |
900W |
1500W |
2000W |
3000W |
5500W |
7500W |
|
转速50Hz |
3000r/min |
1440r/min |
1455r/min |
|
转速60Hz |
3600r/min |
1720r/min |
1720r/min |
|
噪音50dB |
68 |
68 |
63 |
64 |
65 |
69 |
72 |
|
油量L |
0.45 |
0.45 |
1 |
2 |
2 |
6 |
8 |
|
重量kg |
18.5 |
18.5 |
43 |
56 |
70 |
149 |
193 |
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外形尺寸W*D*H(mm) |
316*243*218 |
316*243*184 |
650*150*327 |
670*150*324 |
760*170*353 |
880*225*320 |
1040*260*350 |
