双级旋片式真空泵
用途概述
NEX-D系列双级旋片式真空泵以“高稳定性、强环境适应、智能化控制”为核心,重新定义中低真空设备的性能标杆,是追求高效、可靠、环保的工业用户的理想选择。NEX-D系列真空泵既可独立运行,满足各类基础真空需求;也能与增压泵、扩散泵、分子泵等超高真空泵串联,作为前级泵协同作业。在电子器件制造中,保障芯片封装、镀膜等精密工艺的真空环境,于真空干燥领域,加速物料脱水进程;在过滤、浸渍、涂膜、焊接、冶炼等工业流程,以及实验室科研活动里,均发挥着不可或缺的作用,为不同行业的生产与研究筑牢真空基础。
产品特点
精密结构,稳定可靠
采用整体式缸体结构,制造精度达到行业领先水平,搭配经大量实践验证的旋片技术,运行平稳无波动,赋予系统更高可靠性,保障长时间稳定作业,为您的生产与研究保驾护航。
灵活调节,精准适配
多档气镇设计,可根据实际工况灵活调整,精准满足不同真空度要 求,高效处理水蒸气,无论是潮湿气体环境,还是对真空度有严苛标 准的作业场景,都能轻松应对。
强韧润滑,持久耐用
内置齿轮泵及恒压供油机构,实现强制润滑循环模式,即便在高进气 压强下(≤10Torr),也能确保各部件得到充分润滑,确保轴承与旋 片始终处于最佳润滑状态,运行顺畅无阻,保障设备稳定可靠运行, 大幅降低故障风险。
双重密封,零泄漏设计
选用氟橡胶密封件,显著提升设备抗腐蚀能力,从根源上解决传统真空泵 常见的漏油难题,确保真空环境纯净,减少设备损耗与维护频率。
高效散热,零水冷依赖
创新风冷式散热系统,通过优化风道设计与高效电机,无需外接水冷 装置即可快速导出运行热量,减少系统安装复杂度与维护成本,即便 在高强度运行下,也能快速散热,确保设备始终处于理想工作温度, 延长使用寿命,特别适合无水冷配套的车间或移动场景。
防返油结构设计
双级:双重返油,零泄漏设计,停机瞬间自动关闭油路,配合气镇通道残余气体 反冲,100%杜绝油蒸汽倒灌污染真空系统,隔绝泵油回流,可靠保护真空系统免 受油污污染,维持系统洁净,降低后续清洁成本与维护难度,保护后续精密设备 (如电子束焊接腔、光学镀膜机)。
行业领域 |
典型应用场景 |
实验室分析 |
旋转蒸发、真空浓缩、离心浓缩等样品前处理 |
配套质谱、GC、HPLC 等分析仪器,提升检测灵敏度与重复性 |
电子制造 |
芯片封装、IC测试、半导体镀膜、光学元件蒸镀 |
LED、TFT-LCD 面板制造中的真空干燥与脱气 |
化工与制药 |
原料药、辅料真空干燥与浓缩 |
反应釜抽真空、真空过滤、提纯过程 |
NEX-F 系列适用于处理弱酸、臭氧等腐蚀性气体 |
材料与冶金 |
真空烧结、热处理、真空焊接等高温工艺 |
绝缘材料、碳纤维、树脂件的真空浸渍,提高致密度与性能一致性 |
食品与包装 |
真空包装、真空冷却、干燥工艺辅助 |
提高产品保鲜周期,适配移动生产线或非水冷车间 |
环保与新能源 |
电池材料真空干燥、电解液注液系统稳定支持 |
废气收集、挥发性气体转移等预处理环节,保障环境安全 |
科研探索 |
真空系统集成配套:与扩散泵、分子泵组成超高真空系统 |
真空模拟试验、航天材料脱气、低压物理实验等基础研究应用 |
技术参数
名称 |
双级旋片式真空泵 |
型号 |
NEX-D4 |
NEX-D8 |
NEX-D16 |
NEX-D24 |
NEX-D30 |
NEX-D48 |
NEX-D65 |
NEX-D90 |
抽速50Hz |
4m³/h |
8m³/h |
16m³/h |
24m³/h |
30m³/h |
48m³/h |
65m³/h |
90m³/h |
1 .1L/s |
2 .2L/s |
4 .4L/s |
6 .6L/s |
8 . 3L/s |
13 . 3L/s |
18L/s |
25L/s |
抽速60Hz |
4 .8m³/h |
9 .6m³/h |
19 .2m³/h |
28 .8m³/h |
36m³/h |
57 .6m³/h |
78m³/h |
108m³/h |
1 . 3L/s |
2 .6L/s |
5 .2L/s |
7 .9L/s |
9 .9L/s |
16L/s |
21 .6L/s |
30L/s |
极限分压力 |
5×10-²Pa |
5×10-²Pa |
4×10-²Pa |
4×10-²Pa |
4×10-²Pa |
4×10-²Pa |
4×10-²Pa |
4×10-²Pa |
(关气镇) |
极限全压力 |
5×10-¹Pa |
5×10-¹Pa |
4×10-¹Pa |
4×10-¹Pa |
4×10-¹Pa |
4×10-¹Pa |
4×10-¹Pa |
4×10-¹Pa |
(关气镇) |
极限全压力 |
10Pa |
10Pa |
8Pa |
8Pa |
8Pa |
10Pa |
10Pa |
10Pa |
(开气镇) |
电源 |
单相/三相 |
单相/三相 |
单相/三相 |
单相/三相 |
单相/三相 |
三相 |
三相 |
三相 |
电机功率kW |
0.4/0.37 |
0.4/0.37 |
1.1 |
1.1 |
1.1 |
1.5 |
2.2 |
3 |
电机转速r/min |
1440/1720 |
1440/1720 |
1440/1720 |
1440/1720 |
1440/1720 |
1440/1720 |
1440/1720 |
1440/1720 |
油量L |
0.6~1.0 |
0.6~1.0 |
0.9~1.5 |
1.3~2.0 |
1.3~2.0 |
3.3~4.5 |
3.3~4.5 |
3.3~4.5 |
进/排接气口 |
KF16/25 |
KF16/25 |
KF25/25 |
KF25/40 |
KF25/40 |
KF40/40 |
KF40/40 |
KF40/40 |
噪音50dB |
≤52 |
≤52 |
≤58 |
≤58 |
≤58 |
≤62 |
≤62 |
≤65 |
防护等级 |
IP44 |
IP44 |
IP44 |
IP44 |
IP44 |
IP44 |
IP44 |
IP44 |
重量kg |
19 |
21 |
30 |
35 |
43 |
62 |
65 |
68 |
外形尺寸W*D*H(mm) |
440*144*217 |
440*144*217 |
530*188*272 |
530*188*272 |
567*188*272 |
730*234*358 |
730*234*358 |
730*234*358 |