双级旋片式真空泵

单级/双级旋片式真空泵
用途概述
NEX系列旋片式真空泵以“高稳定性、强环境适应、智能化控制”为核心，重新定义中低真空设备的性能标杆，是追求高效、可靠、环保的工业用户的理想选择。本系列真空泵既然可独立运行，满足各类基础真空需求；也能与增压泵、扩散泵、分子泵等超高真空泵串联，作为前级泵协同作业。在电子器件制造中，保障芯片封装、镀膜等精密工艺的真空环境；于真空干燥领域，加速物料胶水进程；在过滤、浸渍、涂膜、焊接、冶炼等工业流程，以及实验室科研活动里，均发挥着不可或缺的作用，为不同行业的生产与研究筑牢真空基础。
产品特点
精密结构，稳定可靠
采用整体式缸体结构，制造精度达到行业领先水平，搭配经大量实践验证的旋片技术，运行平稳无波动，赋予系统更高可靠性，保障长时间稳定作业，为您的生产与研究保驾护航。
灵活调节，精准适配
多档气镇设计，可根据实际工况灵活调整，精准满足不同真空度要 求，高效处理水蒸气，无论是潮湿气体环境，还是对真空度有严苛标 准的作业场景，都能轻松应对。
强韧润滑，持久耐用
内置齿轮泵及恒压供油机构，实现强制润滑循环模式，即便在高进气 压强下(≤10Torr），也能确保各部件得到充分润滑，确保轴承与旋 片始终处于最佳润滑状态，运行顺畅无阻，保障设备稳定可靠运行， 大幅降低故障风险。
双重密封，零泄漏设计
选用氟橡胶密封件，显著提升设备抗腐蚀能力，从根源上解决传统真空泵 常见的漏油难题，确保真空环境纯净，减少设备损耗与维护频率。
高效散热，零水冷依赖
创新风冷式散热系统，通过优化风道设计与高效电机，无需外接水冷 装置即可快速导出运行热量，减少系统安装复杂度与维护成本，即便 在高强度运行下，也能快速散热，确保设备始终处于理想工作温度， 延长使用寿命,特别适合无水冷配套的车间或移动场景。
防返油结构设计
单级：在突发断电、停机等紧急状况下，该结构能迅速响应，有效杜绝返油现 象，避免因润滑油逆流污染真空系统及工艺设备。无论是对实验数据精度要求高 的科研项目，还是对产品质量把控严格的工业生产，都能确保设备稳定运行，减 少因设备污染导致的维护成本与时间损耗。
双级：双重返油，零泄漏设计，停机瞬间自动关闭油路，配合气镇通道残余气体 反冲，100%杜绝油蒸汽倒灌污染真空系统，隔绝泵油回流，可靠保护真空系统免 受油污污染，维持系统洁净，降低后续清洁成本与维护难度，保护后续精密设备 （如电子束焊接腔、光学镀膜机）。
高效油雾过滤系统
单级旋片式真空泵：内置高品质油雾过滤器，在保障真空性能的同时，可有效拦截 并过滤油雾颗粒，并将排放到环境中的油雾含量降低，不仅维护了工作场所的清洁 卫生，更契合环保法规要求，助力企业实现绿色生产。
弱酸弱碱，从容应对(NEX-DF系列)
在化工、制药、半导体等行业的生产场景中，经常会面临含有轻度腐蚀气体的复杂工况。这些环境中，酸性气体（如氯气、二氧化硫）、强氧化性气体（如臭氧、过氧 化氢蒸气）以及高湿度水蒸气的协同作用，会对普通真空泵的金属部件、密封材料造成持续性侵蚀，导致设备频繁故障、使用寿命大幅缩短。
针对此类工况，上海喆图推出的NEX-F系列真空泵堪称行业解决方案典范。该系列产品采用316L不锈钢弹簧，其优异的耐酸碱性与抗氯离子腐蚀性 能，能在弱酸性环境中长期稳定工作；搭配高纯度氟橡胶密封圈，凭借卓越的化学惰性与耐候性，可有效抵御强氧化性气体侵蚀，杜绝气体泄漏风险；创新设计的耐腐蚀泵体，表面经过特殊涂层处理，形成致密防护屏障，不仅耐受多种腐蚀性介质，还具备自清洁功能，减少杂质附着引发的局部腐蚀。  值得注意的是，若您的使用环境存在王水、氢氟酸等高浓度强腐蚀性介质，建议选择喆图干式无油螺杆真空泵，该产品采用全陶瓷涂层与特种工程塑料材质，能从容应对极端腐蚀环境

行业领域	典型应用场景
实验室分析	旋转蒸发、真空浓缩、离心浓缩等样品前处理
	配套质谱、GC、HPLC 等分析仪器，提升检测灵敏度与重复性
电子制造	芯片封装、IC测试、半导体镀膜、光学元件蒸镀
	LED、TFT-LCD 面板制造中的真空干燥与脱气
化工与制药	原料药、辅料真空干燥与浓缩
	反应釜抽真空、真空过滤、提纯过程
	NEX-F 系列适用于处理弱酸、臭氧等腐蚀性气体
材料与冶金	真空烧结、热处理、真空焊接等高温工艺
	绝缘材料、碳纤维、树脂件的真空浸渍，提高致密度与性能一致性
食品与包装	真空包装、真空冷却、干燥工艺辅助
	提高产品保鲜周期，适配移动生产线或非水冷车间
环保与新能源	电池材料真空干燥、电解液注液系统稳定支持
	废气收集、挥发性气体转移等预处理环节，保障环境安全
科研探索	真空系统集成配套：与扩散泵、分子泵组成超高真空系统
	真空模拟试验、航天材料脱气、低压物理实验等基础研究应用

 
技术参数

名称	旋片式真空泵（单级）
型号	NEX-20	NEX-20K	NEX-40	NEX-63	NEX-100	NEX-200	NEX-300
抽速50Hz	20m³/h （5.6L/s）	20m³/h （5.6L/s）	40m³/h （11.1L/s）	63m³/h （17.5L/s）	100m³/h （27.8L/s）	200m³/h （55.6L/s）	300m³/h （83.3L/s）
极限真空	2mba		0.5mba			0.1mba
可选口径	G3/4"或G1/2"		G1 -1/4"			G2"
电压50Hz	220V		380V			380V
电机功率	750W	900W	1500W	2000W	3000W	5500W	7500W
转速50Hz	3000r/min		1440r/min			1455r/min
油量L	0.45	0.45	1	2	2	6	8
重量kg	18.5	18.5	43	56	70	149	193
外形尺寸W*D*H(mm)	316*243*218	316*243*184	650*150*327	670*150*324	760*170*353	880*225*320	1040*260*350

名称	双级旋片式真空泵
型号	NEX-D4	NEX-D8	NEX-D16	NEX-D24	NEX-D30	NEX-D48	NEX-D65	NEX-D90
抽速50Hz	4m³/h	8m³/h	16m³/h	24m³/h	30m³/h	48m³/h	65m³/h	90m³/h
	1.1L/s	2.2L/s	4.4L/s	6.6L/s	8.3L/s	13.3L/s	18L/s	25L/s
极限分压力	5×10-²Pa	5×10-²Pa	4×10-²Pa	4×10-²Pa	4×10-²Pa	4×10-²Pa	4×10-²Pa	4×10-²Pa
（关气镇）
极限全压力	5×10-¹Pa	5×10-¹Pa	4×10-¹Pa	4×10-¹Pa	4×10-¹Pa	4×10-¹Pa	4×10-¹Pa	4×10-¹Pa
（关气镇）
极限全压力	10Pa	10Pa	8Pa	8Pa	8Pa	10Pa	10Pa	10Pa
（开气镇）
电源	单相/三相	单相/三相	单相/三相	单相/三相	单相/三相	三相	三相	三相
电机功率kW	0.4/0.37	0.4/0.37	1.1	1.1	1.1	1.5	2.2	3
电机转速r/min	1440/1720	1440/1720	1440/1720	1440/1720	1440/1720	1440/1720	1440/1720	1440/1720
油量L	0.6~1.0	0.6~1.0	0.9~1.5	1.3~2.0	1.3~2.0	3.3~4.5	3.3~4.5	3.3~4.5
进/排接气口	KF16/25	KF16/25	KF25/25	KF25/40	KF25/40	KF40/40	KF40/40	KF40/40
防护等级	IP44	IP44	IP44	IP44	IP44	IP44	IP44	IP44
重量kg	19	21	30	35	43	62	65	68
外形尺寸W*D*H(mm)	440*144*217	440*144*217	530*188*272	530*188*272	567*188*272	730*234*358	730*234*358	730*234*358

名称	轻防腐双级旋片式真空泵
型号	NEX-DF4	NEX-DF8	NEX-DF16	NEX-DF24	NEX-DF30	NEX-DF48	NEX-DF65	NEX-DF90
抽速50Hz	4m³/h	8m³/h	16m³/h	24m³/h	30m³/h	48m³/h	65m³/h	90m³ /h
	1.1L/s	2.2L/s	4.4L/s	6.6L/s	8.3L/s	13.3L/s	18L/s	25L/s
极限分压力 （关气镇）	5×10-²Pa	5×10-²Pa	4×10-²Pa	4×10-²Pa	4×10-²Pa	4×10-²Pa	4×10-²Pa	4×10-²Pa
极限全压力 （关气镇）	5×10-¹Pa	5×10-¹Pa	4×10-¹Pa	4×10-¹Pa	4×10-¹Pa	4×10-¹Pa	4×10-¹Pa	4×10-¹Pa
极限全压力 （开气镇）	10Pa	10Pa	8Pa	8Pa	3Pa	3Pa	3Pa	3Pa
电源	单相/三相	单相/三相	单相/三相	单相/三相	单相/三相	三相	三相	三相
电机功率kW	0.4/0.37	0.4/0.37	0.75/0.55	1.1	1.1	1.5	2.2	3
电机转速r/min	1440/1720	1440/1720	1440/1720	1440/1720	1440/1720	1440/1720	1440/1720	1440/1720
油量L	0.6~1.0	0.6~1.0	0.9~1.5	1.3~2.0	1.3~2.0	3.3~4.5	3.3~4.5	3.3~4.5
进/排接气口	KF16/25	KF16/25	KF25/25	KF25/40	KF25/40	KF40/40	KF40/40	KF40/40
防护等级	IP54	IP54	IP54	IP54	IP54	IP54	IP54	IP54
重量kg	19	21	30	35	43	62	65	68
外形尺寸W*D*H(mm)	440*144*217	440*144*217	530*188*272	530*188*272	567*188*272	730*234*358	730*234*358	730*234*358